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Liyi Li

 

 

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Biography:

         

-2016至2021年，美国Intel公司，俄勒冈材料分析实验室

-2021年09月至今，东南大学电子学院，MEMS实验室

-2011至2016年，美国佐治亚理工学院材料系，博士

-2007至2011年，北京大学化学与分子工程学院，本科
Research interests:
  • -集成电路工艺，包括深硅刻蚀、TSV镀铜、介电薄膜沉积等 -集成电路专用材料分析和失效分析，包括微纳红外表征，微纳力学表征等
Selected Publications:
Parts of his papers:

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